marco: Piezokeramische Bauelemente

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Piezokeramische Werkstoffe gestatten die Umwandlung von mechanischer in elektrische Energie und umgekehrt.

Die auf Blei - Zirkonat - Titanat basierenden Werkstoffe sind auf unterschiedlichste Einsatzspezifika optimiert und erlauben somit unterschiedlichste Applikationen in der Sensor- und Aktuatortechnik.

Die Herstellungstechnologie piezokeramischer Bauelemente ermöglicht die unproblematische Fertigung unterschiedlicher Geometrien, wodurch dem Anwender eine Fülle von Applikationsmöglichkeiten zur Verfügung stehen.

Ein großer Teil unserer piezokeramischen Erzeugnisse wird in eigenen Komponenten und Systemen der Aktuatorik und Sensorik zum Einsatz gebracht. Wir beliefern Sie aber auch gern mit Halbzeugen, Bauelementen und Komponenten nach Ihren Wünschen. Unsere Entwickler stehen Ihnen mit ihrem Erfahrungsschatz auf dem Gebiet der Erzeugung und Applikation piezokeramischer Werkstoffe, Komponenten und Systeme für die Lösung Ihrer Probleme zur Verfügung.

FPM 110

FPM 110 ist ein hartes piezoelektrisches Material mit schmaler Hysterese und sehr hoher mechanischer Güte. Er zeichnet sich besonders durch die für harte Materialien hohe piezoelektrische Ladungskonstante aus und ist für den Leistungsultraschallbereich konzipiert. Der Werkstoff findet außerdem Verwendung für Sensoren in Vielschichttechnik. FPM 110 zeigt eine für harte piezokeramische Materialien hohe Deformation ([Formel/Equation] bei 2 kV/mm).

FPM 231

FPM 231 stellt einen weichen Werkstoff mit hoher Deformation ([Formel/Equation] bei 2 kV/mm) und somit einen exzellenten Werkstoff für Aktuatoren wie marco - Torque - Blöcke®, Bieger und Stapel in Vielschichttechnologie dar. Es ist ein piezoelektrisch weicher Werkstoff mit geringer mechanischer Güte und hoher relativer Dielektrizitätskonstante. Kennzeichnend für FPM 231 ist die sehr hohe piezoelektrische Ladungskonstante. Der Werkstoff kann in Folientechnologie gefertigt werden.

FPM 220

FPM 220 ist ebenfalls ein weicher piezokeramischer Werkstoff, der vor allem in der Hochvoltaktuatorik verwendet wird. FPM 220 ist ein Standardwerkstoff mit hoher piezoelektrischer Ladungskonstante und mittlerer mechanischer Güte. Die Deformation dieses Werkstoffes ist mit [Formel/Equation] bei 2 kV/mm etwas kleiner als bei FPM 231.

FPM 202

Dieser piezoelektrisch weiche Werkstoff besitzt neben hohen elektromechanischen Kopplungsfaktoren eine niedrige relative Dielektrizitätskonstante sowie eine hohe piezoelektrische Ladungs- und Druckkonstante. Er kann für Luftultraschallwandler, Modulartransducer sowie Kraft- und Beschleunigungssensoren eingesetzt werden. Weiterhin macht die hohe Curietemperatur einen Einsatz im erweiterten Temperaturbereich möglich.

FPM 203

Mit FPM 203 ist ein Werkstoff speziell für Hochvoltaktuatoren unter Einsatz bei höheren Temperaturen entwickelt worden. Mit der hohen Curietemperatur von muss allerdings der kleine Nachteil des höheren Temperaturkoeffizienten der Dielektrizitätskonstante in Kauf genommen werden. Große Vorteile für die Vielschichtaktuatorik bietet die geringe Dielektrizitätskonstante und die hohe Deformation, > 1,8 [Formel/Equation]. FPM 203 kann auch wie FPM 202 für Ultraschallanwendungen genutzt werden. Die Frequenzkonstanten liegen weitgehend so wie bei FPM 202.

FPM 240

FPM 240 wurde für Biege-Aktuatoren entwickelt. Das Material ist durch den höheren planaren Kopplungsfaktor, in den x-y-verknüpften Steifigkeitstensoren gegenüber FPM 231 erniedrigt bei sonst ähnlichem [Formel/Equation]. Dadurch können höhere Auslenkungen und Kräfte erzielt werden.

Vorzugsgeometrien *)




Platten
seitliche Abmessungen a x b [mm]: min. 2x2 bis max. 50x50; 70x20

Dicke d [mm]: 0,2; 0,5; 1; 1,5 - 5

(in Abhängigkeit von seitlichen Abmessungen)

z. B.: pb/202/v/p2/27x5
Scheiben/Zylinder
Durchmesser Ø [mm]: 5; 10; 15; 16; 20; 25; 30

Dicke d [mm]: 0,2; 0,5; 1; 1,5 - 15

(in Abhängigkeit vom Durchmesser)

z. B.: pb/110/v/d0,5/10
*) andere Abmessungen auf Anfrage

Metallisierung


-
haftfeste Mehrschichtmetallisierung mit gut lötbarer Cu-Ni-Deckschicht als Standardmetallisierung
-
für Spezialanwendungen Cu-Deckschicht
Standardelektrode: Vollelektrode zum Teil mit Isolationsrand <=0,5 mm

Vollelektrode mit Seitenkontakt und Kerbe
Vollelektrode mit Umkontakt
Sonderelektroden

Spezifikation piezoelektrischer Keramiken, Kleinsignalwerte


elektromechanische
Symbol
Einheit
Werkstoff
Kenngröße


FPM 202
FPM 203
FPM 231
FPM 220
FPM 240
FPM 110









Dichte
[Formel/Equation]
[Formel/Equation]
7,71
7,64
7,7
7,8
7,82
7,68
relative
[Formel/Equation]

1560
800
2990
2650
3680
1075
Dielektrizitätskonstante
[Formel/Equation]

1600
1160
2930
2085
3650
1480

[Formel/Equation]

950
700
2180
1385
2090
910

[Formel/Equation]

780
370
1410
1260
1470
648
dielektrischer
tan[Formel/Equation]

18
21
22
20
19
6
Verlustfaktor
· [Formel/Equation]







Curietemperatur
[Formel/Equation]
°C
365
360
192
220
202
272
elektromechanischer
[Formel/Equation]

62
62
61
63
69
51
Kopplungsfaktor
[Formel/Equation]

35
32
39
32
43
32

[Formel/Equation]
%
65
64
63
66
72
64

[Formel/Equation]

44
51
50
46
50
43

[Formel/Equation]

64
63
50
58
65
62
piezoelektrische
[Formel/Equation]

330
220
500
430
630
270
Deformations-
[Formel/Equation]

-165
-104
-260
-200
-300
110
(Ladungskonstante)
[Formel/Equation]

510
425
525
506
807
440

· [Formel/Equation]
C/N (m/V)






mechanischer Gütefaktor
[Formel/Equation]

86
88
77
82
75
1400
Temperaturkoeffizient*








von [Formel/Equation]
[Formel/Equation]

3,6
10,4
8,4
5
7,4
6,4
von [Formel/Equation]
[Formel/Equation]

-0,2
0,9
-3
-0,5
-2,1
-0,2
von [Formel/Equation]
[Formel/Equation]

-0,9
0,6
-3
-0,4
-2,5
-0,8
von [Formel/Equation]
[Formel/Equation]

1,8
5
-0,4
1
2,3
1,3
von [Formel/Equation]
[Formel/Equation]

-2,8
-1,6
-5
-2
-5
-2,9

· [Formel/Equation]
[Formel/Equation]






elastische
[Formel/Equation]

16
15
16
16
15
13
Nachgiebigkeit
[Formel/Equation]

10
10
10
10
9
8

[Formel/Equation]

27
27
31
27
27
23

[Formel/Equation]

14
13
14
15
12
11

[Formel/Equation]

46
44
42
41
47
38

[Formel/Equation]

18
17
17
17
20
15

[Formel/Equation]

5
7
2
8
3
3

[Formel/Equation]

10
9
9
10
10
7

· [Formel/Equation]
[Formel/Equation]






elastische Steifigkeit
[Formel/Equation]

14,6
15,3
14,8
15,6
15,8
15,1

[Formel/Equation]

11,8
11,2
11,1
12,2
12
12,3

[Formel/Equation]

3,7
3,7
3,2
3,6
3,7
4,3

[Formel/Equation]

2,2
2,3
2,4
2,4
2,1
2,6

[Formel/Equation]

9,6
10,7
8,9
10,2
10,6
11

[Formel/Equation]

0,1
-1,7
1,5
-1,6
2,1
1

[Formel/Equation]

-5,5
-4,9
-5,3
-5,2
-6,6
-5,7

· [Formel/Equation]
[Formel/Equation]






planare Poissonzahl
[Formel/Equation]

0,296
0,296
0,295
0,297
0,300
0,287
Frequenzkonstante
[Formel/Equation]

1985
2035
1970
1985
1910
2255

[Formel/Equation]

1420
1490
1420
1390
1450
1610

[Formel/Equation]
Hzm
1405
1440
1415
1420
1335
1548

[Formel/Equation]

1996
1969
1940
2022
2000
2034

[Formel/Equation]

874
893
902
910
858
957
piezoelektrische
[Formel/Equation]

23
32
14
18
16
23
Spannungskonstante
[Formel/Equation]

-11
-15
-10
-8
-9
-12

[Formel/Equation]

36
41
20
27
25
34

· [Formel/Equation]
Vm/N






spezifischer Widerstand
[Formel/Equation]
Ohmm
[Formel/Equation]
2 ·[Formel/Equation]
0,5 ·[Formel/Equation]
0,5 ·[Formel/Equation]
[Formel/Equation]
[Formel/Equation]
*) Temperaturbereich: 25 ... 85 °C

Messungen wurden nach DIN EN 50324-2 VDE 0336-2 "Piezoelektrische Eigenschaften von keramischen Werkstoffen und Komponenten" Teil 2: Messverfahren - Kleinsignal (Dezember 2002) durchgeführt.



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