Der piezoaktorisch angetriebene Positioniertisch ermöglicht eine Präzisionsbewegung in zwei voneinander unabhängigen Achsen.

Der Stellbereich für beide Achsen beträgt 600 µm. Im Tisch ist je Achse ein induktives Wegmesssystem integriert.
Die elektrische Ansteuerung erfolgt mit den Komponenten:

ase/nvs/c.300 - Niedervoltsteuerung und
ase/mvs/a.300 - Messsystembox.

Damit ist eine linear geregelte und hysteresefreie Bewegung in x- und y- Richtung möglich.

Ein Überschreiten des Regelbereiches, z. B. mechanische Überlastung des Positioniersystems, wird durch die LED's der Niedervoltsteuerung ase/nvs/c.300 signalisiert.

L x B x H	(100 x 50 x 10) mm
Tischbefestigung	Gewindebohrungen M3
Objektbefestigung	Zylinderstift Ø3 mm
Auslenkung	x-Richtung 400 µm geregelt (600 µm ungeregelt)
	y-Richtung 400 µm geregelt (600 µm ungeregelt)
Nichtlinearität	±3 %
Auflösung	0,14 µm (1 Bit)
Resonanzfrequenz des unbelasteten Systems	240 Hz
Positionierzeit bei Vollhub	geregelt 100 ms
Betriebsspannung	275 V

	x-Achse	y-Axchse	z-Achse
Steifigkeit	0,120 N/µm	0,085 N/µm
maximal zulässige Belastung	60 N	42 N	2 N
ausregelbare Kraft abhängig von der Stellposition	10 N ... 60 N	8 N ... 42 N

Die technischen Daten wurden in Verbindung mit der Ansteuerelektronik ase/nvs/c.300 und der Messsystembox ase/mvs/a.300 ermittelt.

Bestellnummer	Release	Bezeichnung
asy/xyn/g550/b.300	1.0	Positioniertisch
ase/mvs/a.300	1.0	Messsystembox
ase/nvs/c.300	1.0	Niedervoltsteuerung

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