Der Drei-Koordinaten-Tisch asy/txyz/100/a zeichnet sich durch einen sehr kompakten Aufbau mit je zwei Doppel-Torque-Blöcken^® pro Achse aus, die eine aktive Parallelführung in allen drei Achsen gewährleisten.
Die z-Achse ist durch erhöhten Torque-Block^®-Querschnitt und eine Lastkompensationsfeder für Belastungen bis 100 kg geeignet.

Die wesentlichen technischen Merkmale sind:
- große Hübe
- hohe Steifigkeiten
- hohe Belastbarkeiten
- hohe Eigenresonanzfrequenzen

	x-Achse	y-Achse	z-Achse
Betriebsspannung [V-]	400	400	400
Hub [µm]	100	100	100
Wegauflösung [nm]	5*	5*	5*
Steifigkeit [N/µm]	5	5	20
Blockierkraft [N]	500	500	2000
Belastbarkeit [N]	±150	±150	+1000 (Druck) / -500 (Zug)
* ungeregelt, im geregelten Betrieb Auflösung der Sensorik
Typische Resonanzfrequenz [Hz]
ohne Last	460	680	910
Last 1 kg	290	325	680
Last 5 kg	150	160	315
Last 10 kg	120	125	220

Anwendung

• Präzisionspositionierung unter großen Belastungen bis 1000 N mit Genauigkeiten im Sub-Mikrometer-Bereich
• dreiachsiale aktive Schwingungskompensation großer Lasten auch im Frequenzbereich <1 Hz

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