\D'l 0.7c 0' Stellplattform

\D'l 1.2c 0' Piezostapel

\D'l 0.8c 0' Basis

Hexapod bezeichnet eine Verstelleinheit, welche 6 Freiheitsgrade unabhängig mit 6 Aktoren verstellen läßt. Dies bedeutet, dass die Rotation und die Translation eines Objektes individuell in allen Achsen einstellbar ist.

Wir bauen Hexapoden in unterschiedlichster Geometrie, an das Kundenproblem angepasst. Als Antrieb setzen wir auch Torque Triebe oder Wanderantriebe ein.

Dieses Beispiel wurde für eine optische Anwendung ausgearbeitet.

Hier werden die Beine von piezokeramischen Stapelaktoren gebildet, welche mechanisch vorgespannt und in Gelenkpunkten spielfrei gelagert sind. Integrierte Wegsensoren (kapazitiv oder induktiv) ermöglichen geregelte Positionierabläufe und eine extrem hohe virtuelle Steifigkeit des Systems.
Die Ansteuerung wird je nach Anwendungsfall von einer sechskanaligen Ansteuer- und Regelelektronik in Verbindung mit einem Steuerrechner vorgenommen.

Die Achsen sind in einem rechtshändigen Koordinatensystem so definiert, daß die (x, z)-Ebene parallel zu einem der Stapelpaare orientiert ist.

Die Matrixelemente sind zahlenmäßig so skaliert, daß die Translationen in µm und die Rotationen in mrad zu messen sind.

Die Längenänderung der einzelnen Stapel wird mit ±35 µm angegeben. Dies führt bei den einzelnen Freiheitsgraden in der gezeigten Geometrie zu folgenden Grenzen der möglichen Bewegung:

Die Variationsmöglichkeiten der vorliegenden Konstruktion sind vielfältig:

• Vergrößerung der Bewegungsgrenzen durch längere Stapel oder wegübersetzte Antriebe (z. B. Doppelstapelantriebe)
• durch Variation der Anstellwinkel und des Durchmessers können die Übersetzungsverhältnisse der einzelnen Koordinaten differenziell beeinflußt werden
• Veränderung der mechanischen Belastbarkeit durch veränderte Stapelquerschnitte

Anwendung

[] allgemeine Positionieraufgaben
[] Präzisionsbearbeitung
[] Halbleitertechnologie

Identnummer	Release	Bezeichnung
asy/hex	1.0	Hexapod

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